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碳化硅裝備
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<strong>主要技術(shù)指標(biāo)</strong><br> 1、整機(jī)尺寸:(LWH)2000X2300X10800m;<br> 2、主腔室內(nèi)徑1400mm，副爐室內(nèi)徑350mm;兼容24~34英寸RCz和32~34英寸CCz熱。衫10英寸以下直徑的晶體;<br> 3、加熱方式:電阻加熱，DC電源Pmax=150:50Kw，頻率50Hz;
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<strong>主要技術(shù)指標(biāo)</strong><br> 1、加工晶棒直徑:4~8英寸<br> 2、加工晶棒長(zhǎng)度:≤400mm<br> 3、橢圓度:≤0.05mm
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<strong>設(shè)備優(yōu)勢(shì)</strong><br> 主要部件均采用知名品牌,穩(wěn)定性高,耐用性強(qiáng)。<br> 采用精度P3級(jí)滾珠絲桿傳動(dòng),精度高。<br> 鑄件采用高等級(jí)灰口鑄鐵,具有更好的抗彎及抗扭應(yīng)力。<br> 可選配三級(jí)過(guò)濾水箱或紙帶式過(guò)濾器,保持切削液清潔，提高加工性能及刀具壽命,減少環(huán)境污染。<br> 硬軌全人工刮研,導(dǎo)軌貼合面采用貼塑處理,降低阻尼系數(shù),提高機(jī)床精度。<br> 可選配常規(guī)、密集型以及一體式電磁吸盤(pán),通用性強(qiáng)。
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<strong>設(shè)計(jì)優(yōu)點(diǎn)</strong><br> 1、滿(mǎn)足6吋/8吋晶體生長(zhǎng);<br> 2、一鍵智能啟動(dòng)，減少人工干預(yù)，利于規(guī)模化生產(chǎn);<br> 3、PVT-MF-50型碳化硅感應(yīng)式長(zhǎng)晶爐適用于生長(zhǎng)高質(zhì)量六吋碳化硅單晶、高純度碳化硅原料合成、晶體退火等領(lǐng)域。<br>
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2025年半年報(bào)
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大連基地：遼寧省大連市甘井子區(qū)營(yíng)日路40號(hào)
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