高真空精度
適用于合成高純碳化硅原料，完全滿足6N以上高純度粉料要求
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產品特點
大裝料量
一次裝料量大，可實現1臺設備對多臺長晶爐，提高生產效率。
同頻電源控溫
采用1拖2同頻電源，可有效控制軸向溫度梯度。
紅外測溫
頂、底均可配紅外測溫，便于溫場監控和工藝調試。
高真空精度
高真空、高控壓精度、高控溫精度，滿足合成高純碳化硅原料。
上下料安全
采用上進下出的上下料方式，安全可靠，可配置卸料叉車。
精確控制爐內的壓力和氣氛組
采用高精度蝶閥和質量流量計控制爐內壓力，提供穩定的工藝氣氛。
并排布置節省空間
設備可采用并排布置，節省空間，提高廠房利用率。
技術參數
| 尺寸：整機長X寬X高 | 4340x3560x4300mm |
| 爐室內徑 | 1100mm |
| 裝料量 | 50kg |
| 極限真空度 | 10-2Pa（分子泵啟動后2h） |
| 腔體壓升率 | 100pa/12h |
| 下爐蓋升降行程 | 1500mm |
| 加熱方式 | 加熱方式 |
| 爐內最高溫度 | 2400℃ |
| 加熱電源 | 2X40KW |
| 測溫方式 | 雙色紅外測溫 |
| 測溫范圍 | 900~3000℃ |
| 控溫精度 | ±1℃ |
| 控壓范圍 | 1~700mbar |
| 控壓精度 | 1~5mbar ±0.1mbar 5~100mbar ±0.2mbar 100~700mbar ±0.5mbar |
| 裝料方式 | 下部裝料 |
| 可選配置 | 雙側溫點，卸料叉車 |
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